微電子工業凈化工程

微電子工業凈化工程與微電子行業本身一樣是對潔凈室要求很高的行業。隨著大規模集成電路(LSI)和VLS1的發展，微電子工業凈化工程對粉塵控制的要求也是越來越高。在IC制造過程中，集成度越高，圖形尺寸(以線寬表示)越薄，潔凈室受控粒度尺寸越小(通常為線寬的1/10)，粉塵含量越低。此外，現代工業液晶、光纖生產，對微電子工業凈化工程潔凈度要求也很高。

微電子工業凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給與特別設計的密閉空間。

微電子工業凈化工程也稱無塵室或清凈室，已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫藥、食品制造等行業不可或缺的重要設施。微電子工業凈化工程由于技術的創新發展，對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型集成電路的研究制造，已成為世界各國在科技發展上極為重視的項目。