高級別電子無塵車間生產環境要求

高級別電子無塵車間生產工藝對潔凈室生產環境的要求非常嚴格。電子工廠尤其是微電子和光電子產業的電子工廠，工藝生產對大面積高潔凈度潔凈室所要求的生產環境不僅僅有：建筑圍護、結構、空氣、水以及氣體、溶劑等原材料，而且還有聲、光、電、磁、振等各種環境。例如：建筑形式、層高承重、圍護的裝修材料；空氣的潔凈度、溫濕度、靜壓力；水和氣體的純度和重金屬等含量以及噪聲、照度、靜電、電磁波、微振動等等。總的來說，微電子和光電子對生產環境的要求可用“精”、“凈”、“純”、“大”來描寫。 建造電子工廠的高級別潔凈室最重要的是要使建造的潔凈室應能滿足生產工藝對生產環境的嚴格要求，使之能高效率、高成品率地生產出高質量的電子產品。

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